抽 速
m³/h
1200
極限真空
Torr
9.7×10?
pa
0.13
工作電源
/
380~460V 3P 50/60Hz
裝載功率
kw
2.2+3.7
冷卻水接口
Re3/8”(F)
氮氣接口
Rc1/4”(F)
吸氣口
DN100 IS0-K
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